半導体の工場

半導体工場におけるMESの役割

半導体工場におけるMES (Manufacturing Execution System:製造実行システム) は、工場の「脳」や「司令塔」にあたる極めて重要なシステムです。

半導体製造は、数ヶ月に及ぶ長い期間、数百〜数千もの複雑な工程を経て行われます。MESなしでは、この超精密かつ大規模な生産を管理することは不可能です。

以下に、半導体工場のMESについて、その役割と仕組みを分かりやすく解説します。

MESの基本:工場の「司令塔」

MESは、上位の経営システム(ERP)と、現場の製造装置(Equipment)の間に位置します。

  • ERP (経営層): 「今月はチップを1万個作って売りたい」という計画を立てる。

  • MES (実行層): 「じゃあ、どの装置で、どのウェーハを、いつ、どのレシピで加工するか」という具体的な指示を出し、進捗を管理する。

  • 装置 (現場): 指示通りにシリコンウェーハを加工する。

なぜ半導体工場でMESが重要なのか?

半導体製造には、他の製造業と比べて特殊な事情があります。

  1. 工程の複雑さと長さ: 1枚のウェーハが完成するまでに数ヶ月かかり、その間に「成膜→露光→エッチング」といった工程を何度も繰り返します(リエントラントフロー)。

  2. ミスの許されなさ: 1つの工程ミスが、数千万円〜数億円分のウェーハを台無しにする可能性があります。

  3. 完全自動化: 多くの300mmウェーハ工場(前工程)では、人がウェーハを運ばず、OHT(天井走行式搬送車)が運びます。これらを制御するにはMESが不可欠です。

MESの具体的な5つの役割

MESは具体的に以下のような機能を担っています。

① 工程管理 (WIP Tracking)

「今、どのロット(ウェーハのセット)が、どの工程にいるか」をリアルタイムで追跡します。

  • 機能: 次に行くべき工程への移動指示、工程のスキップ防止、やり直し(リワーク)の管理。

WIP (Work In Progress) トラッキングとは?WIP (Work In Progress) トラッキングは、MESの中で最も基本的かつ重要な機能です。日本語では「仕掛品(しかかりひん...

② レシピ管理 (Recipe Management)

半導体製造装置は、温度、圧力、ガス流量などの設定(レシピ)に基づいて動きます。

  • 機能: 人が手入力するとミスが起きるため、MESが装置に対して「このロットにはこのレシピを使いなさい」と自動でダウンロードします(RMS: Recipe Management System)。

③ 装置管理と自動化 (Equipment Integration / EAP)

MESは直接装置と話すこともありますが、通常はEAP (Equipment Automation Program) という仲介役を通じて通信します。

  • 機能: 装置の状態(稼働中、メンテ中、エラー停止中)を監視し、稼働率を最大化するようにロットを割り当てます。

④ 品質管理 (Quality Management / SPC)

製造データを収集し、品質を監視します。

  • 機能: SPC (Statistical Process Control:統計的工程管理) と連携し、データが規格外になりそうになったら、即座にラインを止めて不良品の大量発生を防ぎます。

⑤ 搬送指示 (Dispatching)

  • 機能: 「次にどの装置が空くか」「どのロットを優先すべきか」を計算し、自動搬送システム(AMHS/OHT)に「このロットをあそこの装置へ運べ」と指令を出します。

他産業のMESとの違い

一般的な組立工場(自動車など)のMESとの大きな違いは、「装置との通信密度の濃さ」です。

特徴一般的な工場のMES半導体工場のMES
通信規格独自規格が多いSECS/GEM (世界共通の通信規格) が徹底されている
データの量生産の開始・終了がメイン処理中の温度・圧力など膨大なセンシングデータを扱う
自動化レベル人への指示も多い完全自動化 (Full Auto) が前提の前工程が多い

最近のトレンド:スマートファクトリー化

現在、半導体工場のMESはさらに進化しています。

  • AIによる予測: 装置が壊れる前に予兆を検知してメンテナンスを行う(予知保全)。

  • デジタルツイン: 仮想空間に工場を再現し、MESのシミュレーションを行ってから実際のラインに適用する。

  • ビッグデータ解析: 歩留まり(Yield)向上のため、過去の膨大な製造データと検査結果を紐付ける。

ミニMESをPython(パイソン)で再現

本物のMES(製造実行システム)は、数百万行のコード、データベース、UI、通信プロトコル(SECS/GEMなど)からなる巨大なエンタープライズシステムですが、「MESのコアロジック(データモデルと状態遷移)」を理解するための最小限のPythonプロトタイプを作成しました。

これでMESの基本的な構成要素を具体的に学ぶことができます。

このスクリプトは、簡易的な「ミニMES」として機能します。

このスクリプトで実現している機能(MESの基本)

  1. Lot管理: 製品(ロット)の生成とステータス追跡。

  2. 装置管理 (Equipment): 装置の状態(IDLE/BUSY)管理。

  3. ディスパッチ (Dispatching): どのロットをどの装置に割り当てるかの指示。

  4. 履歴管理 (History): 誰がいつ何をしたかの記録。

Pythonによる簡易MESプロトタイプ

このコードをPython環境で実行すると、テキストベースで工場の動きがシミュレーションされます。

import time
import datetime
import uuid

# — 1. データモデル層 (Data Models) —

class Lot:
“””製造される製品(ウェーハのロット)を表すクラス”””
def __init__(self, product_type):
self.lot_id = str(uuid.uuid4())[:8] # ユニークなIDを生成
self.product_type = product_type
self.status = “CREATED” # 現在の状態
self.current_step = 0 # 現在の工程番号
self.history = [] # 加工履歴

def update_status(self, status, note=””):
timestamp = datetime.datetime.now().strftime(“%H:%M:%S”)
self.status = status
log_entry = f”[{timestamp}] Status: {status} | {note}”
self.history.append(log_entry)
print(f” -> [Lot: {self.lot_id}] {status}”)

class Equipment:
“””製造装置を表すクラス”””
def __init__(self, eq_id, name, capability):
self.eq_id = eq_id
self.name = name
self.capability = capability # この装置ができる処理(例: ‘ETCH’, ‘CLEAN’)
self.state = “IDLE” # IDLE, BUSY, DOWN

def start_process(self):
self.state = “BUSY”
print(f” -> [EQ: {self.name}] 稼働開始 (BUSY)”)

def finish_process(self):
self.state = “IDLE”
print(f” -> [EQ: {self.name}] 処理完了 (IDLE)”)

# — 2. ロジック層 (Business Logic / MES Core) —

class SimpleMES:
“””工場の司令塔となるMESクラス”””
def __init__(self):
self.lots = {} # 全ロットのデータベース
self.equipment_list = {} # 全装置のデータベース
# 簡易的な製造フロー(レシピ)
self.flow = [“CLEAN”, “ETCH”, “CLEAN”, “INSPECT”]

# — マスタデータ登録 —
def add_equipment(self, eq_id, name, capability):
eq = Equipment(eq_id, name, capability)
self.equipment_list[eq_id] = eq
print(f”[MES] 装置登録: {name} ({capability})”)

# — 製造指示 (Order Creation) —
def create_order(self, product_type, quantity):
print(f”\n[MES] 製造指図受信: {product_type} を {quantity}ロット作成”)
for _ in range(quantity):
new_lot = Lot(product_type)
self.lots[new_lot.lot_id] = new_lot
new_lot.update_status(“WAITING”, “ロット生成完了”)

# — ディスパッチ機能 (Dispatching) —
# 非常に重要な機能:空いている装置を見つけてロットを割り当てる
def dispatch(self):
print(“\n[MES] — ディスパッチ処理開始 (割り当て計算) —“)

for lot_id, lot in self.lots.items():
# 処理待ちのロットを探す
if lot.status == “WAITING” and lot.current_step < len(self.flow):
required_process = self.flow[lot.current_step]

# その工程ができる、かつ空いている(IDLE)装置を探す
target_eq = None
for eq in self.equipment_list.values():
if eq.capability == required_process and eq.state == “IDLE”:
target_eq = eq
break

if target_eq:
self.execute_process(lot, target_eq)
else:
print(f” [保留] Lot:{lot_id} (工程:{required_process}) -> 空き装置なし”)

elif lot.status == “COMPLETED”:
pass # 完了済みは何もしない

# — 実行処理 (Execution) —
def execute_process(self, lot, equipment):
process_name = self.flow[lot.current_step]

# 1. トラックイン (Track-In): 装置への搬入・開始記録
print(f” [割当] Lot:{lot.lot_id} -> Eq:{equipment.name}”)
lot.update_status(“PROCESSING”, f”装置:{equipment.eq_id}で{process_name}開始”)
equipment.start_process()

# — ここで実際の加工時間(シミュレーション) —
time.sleep(1) # 擬似的に1秒待機
# —————————————–

# 2. トラックアウト (Track-Out): 処理完了記録
equipment.finish_process()
lot.current_step += 1

if lot.current_step >= len(self.flow):
lot.update_status(“COMPLETED”, “全工程完了”)
else:
next_step = self.flow[lot.current_step]
lot.update_status(“WAITING”, f”次は {next_step}”)

# — レポート機能 —
def show_wip_status(self):
print(“\n[MES] — 現在の工場ステータス (WIP) —“)
print(f”{‘LOT ID’:<10} | {‘PRODUCT’:<8} | {‘STATUS’:<10} | {‘CURRENT STEP’}”)
print(“-” * 50)
for lot in self.lots.values():
step_name = self.flow[lot.current_step] if lot.current_step < len(self.flow) else “DONE”
print(f”{lot.lot_id:<10} | {lot.product_type:<8} | {lot.status:<10} | {step_name}”)
print(“-” * 50)

# — 3. メイン実行部 (Simulation) —

if __name__ == “__main__”:
# MESシステムの起動
my_mes = SimpleMES()

# 1. 工場に装置を設置(登録)
my_mes.add_equipment(“EQ01”, “洗浄機A”, “CLEAN”)
my_mes.add_equipment(“EQ02”, “洗浄機B”, “CLEAN”)
my_mes.add_equipment(“EQ03”, “エッチャーA”, “ETCH”)
my_mes.add_equipment(“EQ04”, “検査機A”, “INSPECT”)

# 2. 注文が入る
my_mes.create_order(“NAND_FLASH”, 2) # 2つのロットを作成

# 3. 工場の稼働シミュレーション
# ループを回して、MESが常に監視・指示を出している様子を再現
for cycle in range(6):
print(f”\n=== サイクル {cycle+1} ===”)
my_mes.dispatch()
time.sleep(0.5)

# 4. 最終結果確認
my_mes.show_wip_status()

# 履歴の確認(例:最初のロット)
first_lot = list(my_mes.lots.values())[0]
print(f”\n[Log] Lot {first_lot.lot_id} History:”)
for h in first_lot.history:
print(h)

このコードの解説(仕組みのポイント)

  1. SimpleMES クラス:

    • これがシステムの本体です。lots(製品データ)と equipment_list(装置データ)をメモリ上で管理しています。現実ではこれがSQLデータベースになります。

  2. dispatch メソッド:

    • ここがMESの「脳」です。「待機中のロット」と「空いている装置」をマッチングさせます。

    • capability(装置の能力)と flow(工程順序)を照合している点が重要です。洗浄工程のロットをエッチング装置に入れないように制御しています。

  3. update_status メソッド:

    • WIP(Work In Progress)トラッキングの基本です。状態が変わるたびにタイムスタンプ付きでログを残します。これがトレーサビリティ(追跡可能性)の基礎となります。

これを実用的なMESにするために必要なもの

このスクリプトを実際の工場で使えるレベルにするには、ここから以下のような拡張が必要です。

  • データベース化: 変数ではなく、PostgreSQLやOracleなどのDBにデータを永続化する。

  • APIサーバー化: FlaskやFastAPIを使い、装置や管理者PCからHTTPリクエストで操作できるようにする。

  • 通信ドライバ: 実際の装置(半導体ならSECS/GEM規格)と通信するためのドライバライブラリを組み込む。

  • GUI: 作業者がタブレット等で見られる画面(Webフロントエンド)を作成する。

まとめ

半導体工場のMESは、単なる「管理表」ではなく、数千億円規模の工場の全自動化を実現し、品質と生産性を担保するための巨大なオペレーティングシステムと言えます。