クリーンルームの構造 – 半導体製造を支える“究極に清浄な空間”の作り方
2025-08-22 semi-connect編集室 1. クリーンルームとは クリーンルームは、空気中の塵や微粒子、微生物を極限まで減らした特殊な作業空間です。半導体や液晶パネル、医薬品など …
超純水に欠かせない会社たち – 半導体産業を水で支える企業群
2025-08-22 semi-connect編集室 1. はじめに 半導体製造において、超純水（Ultra-Pure Water, UPW）は欠かせない存在です。ウエハーの洗浄工程は数百回に …
半導体工場はどれだけ超純水を使うのか？ – 製造現場のリアルと課題
2025-08-22 semi-connect編集室 1. 半導体と超純水の関係 半導体チップは、ナノメートル単位の精度で作られる極めて繊細な製品です。その製造工程では、ウエハー表面にわずかな …
超純水とは？ – 産業を支える“究極にきれいな水”の正体
2025-07-27 semi-connect編集室 1. 超純水とは 超純水とは、通常の水道水や純水よりもさらに不純物を極限まで取り除いた水のことです。イオン、微粒子、有機物、微生物、溶存ガ …
半導体装置に欠かせない様々な真空ポンプ
2023-01-29 semi-connect編集室 スパッタイオンポンプ(sputter ion pump) スパッタイオンポンプは、オイル(油)を使わないドライ真空系ポンプだ。 スパッタイオンポンプの原理はペニング放電と同 …
