半導体用語集

「D」から始まる半導体用語

DRAM[ディーラム、Dynamic Random Access Memory]

DRAM(Dynamic Random Access Memory)は、データを一時的に保存するための半導体メモリの一種で、コンピュータの主記憶装置などに広く使用されている。

DRAMはその名の通り、動的にリフレッシュ(再充電)を行うことでデータを保持する。

これは、DRAMがキャパシタとトランジスタを使用してビット(0または1)を格納するため、時間と共にキャパシタの電荷が漏れる性質があるためだ。

DRAMの基本構造

DRAMの基本的なセルは、1つのキャパシタと1つのアクセス用トランジスタから構成されれる。

キャパシタは電荷(データ)を保持し、トランジスタはそのキャパシタへの読み書きを制御する。

データはキャパシタに電荷があるかないか(充電状態または放電状態)で表され、これによりビットの0または1が表現される。

動的リフレッシュ

DRAMのキャパシタは、時間が経つと自然に電荷を失うため、定期的にリフレッシュ(再充電)する必要がある。

リフレッシュ操作は、DRAMコントローラによって自動的に行われ、全セルが数ミリ秒ごとにリフレッシュされる。

これにより、データの一時的な保存が可能になる。

DRAMとSRAMの違い

DRAMとよく比較されるのがSRAM(Static Random Access Memory)だ。

SRAMは、トランジスタのみで構成されるメモリセルを使用し、DRAMのようにリフレッシュする必要がないため、データのアクセス速度が速く、消費電力が少ないという特徴がある。

しかし、SRAMはDRAMに比べてセルあたりのトランジスタ数が多く、そのためコストが高く、同じ面積に多くのデータを格納できないというデメリットがある。

DRAMの応用

DRAMはその低コストと大容量により、コンピュータの主記憶装置やサーバ、ゲーム機など、多くのデジタルデバイスのメモリとして広く利用されている。

特に、高速なデータアクセスが求められるアプリケーションにおいて、DRAMは不可欠な技術だ。

技術の進展

DRAM技術は、より高速で大容量のメモリを実現するために、絶えず進化している。

メモリセルの微細化による密度の向上、新しいアーキテクチャの開発、より効率的なリフレッシュ技術などが研究されている。

また、DDR SDRAM(Double Data Rate SDRAM)のような高速なデータ転送を実現する技術も、DRAMの性能向上に貢献している。

DAコンバーター

DAコンバーター(D/Aコンバーター、Digital-to-Analog Converter)は、デジタル信号をアナログ信号に変換するデバイスだ。

デジタル世界とアナログ世界をつなぐ重要な役割を担っており、音響機器、ビデオ機器、通信機器、計測機器など、多岐にわたる分野で使用されている。

DAコンバーターの基本原理

DAコンバーターは、二進数で表されるデジタルデータ(0と1の組み合わせ)を、連続的な電圧や電流の形で表されるアナログ信号に変換する。

この変換プロセスを以下にまとめる。

  1. 入力: デジタルデータが入力される。このデータは、一般にビット列(例えば、8ビット、16ビット、24ビットなど)で表される。
  2. 変換: 入力されたデジタルデータは、内部の変換回路によってアナログ信号に変換される。この変換には、重み付けされた抵抗ネットワークや電流源が使用されることが多い。
  3. 出力: 変換されたアナログ信号が出力される。この信号は、電圧または電流の形式で提供され、デジタルデータに対応する連続的な値を持つことになる。

DAコンバーターの主な種類

  • 加重抵抗型: 最もシンプルなDAコンバーターの一つで、異なる重みを持つ抵抗を使ってデジタルデータに応じたアナログ電圧を生成する。
  • R-2Rラダーネットワーク型: Rと2Rの抵抗のみを使用した構造で、加重抵抗型に比べて精度が高く、スケーラブルなタイプだ。
  • 電流ステアリング型: 高速動作が可能で、高解像度のオーディオやビデオアプリケーションに適している。電流源を切り替えることでアナログ出力を生成する。

DAコンバーターの性能指標

  • 解像度: DAコンバーターが扱えるビット数で、変換可能な最小の信号レベルを決定する。ビット数が多いほど、より細かい信号レベルを扱うことが可能となる。
  • サンプリングレート: DAコンバーターが1秒間に処理できるサンプル数で、高いサンプリングレートはより高い周波数の信号を再現できる。
  • SN比(Signal-to-Noise Ratio): 信号に対するノイズレベルの比率で、この値が大きいほどクリアな信号を出力できる。
  • 線形性: 入力デジタル値に対する出力アナログ値の比率が一定であることを示し、高い線形性は正確な変換を意味する。

DAコンバーターの応用分野

  • オーディオ機器: デジタルオーディオプレーヤーやデジタルミキサー、AVレシーバーなど、高品質な音声出力が求められる機器で広く使用されている。
  • ビデオ機器: デジタルビデオカメラやデジタルテレビ、プロジェクターなど、高解像度の映像信号をアナログディスプレイに出力する際に使用されている。
  • 通信機器: 無線通信や有線通信の送信機において、デジタル形式で処理された信号をアナログ形式に変換し、アンテナやケーブルを介して送出するために必要。
  • 計測機器: デジタル信号処理を行うオシロスコープや信号発生器など、計測データをアナログ信号として出力する際に用いられる。

DAコンバーターの技術的挑戦

DAコンバーターの設計と製造には、いくつかの技術的挑戦が伴うことになる。

特に高性能なDAコンバーターを開発する際には、以下の点に配慮が必要だ。

  • 低ノイズ設計: 電子回路内で発生するノイズを最小限に抑え、SN比を向上させる設計が求められる。
  • 高速動作: 特にビデオや高速通信機器において、高いサンプリングレートで安定して動作するDAコンバーターが必要とされる。
  • 熱管理: 高速動作や高密度集積に伴う熱問題を解決するための熱管理技術が重要。
  • 低消費電力: ポータブル機器においては、バッテリー寿命を延ばすために低消費電力設計が求められる。

dB[デシベル, Decibel]

デシベル(dB)は、音の強さ、電気信号の強度、またはその他の量の比率を表すために使用される対数単位のこと。

デシベルは非常に小さな値から非常に大きな値までの広範囲をカバーするために使用され、比較的小さな数値で大きな変化を表現できるのが特徴だ。

特に、音響学、電子工学、通信工学、半導体工学など広く用いられる。

基本概念

デシベルは、ある量と別の基準量との比を対数で表したものです。一般的な式は以下のようになります。

dB=10log10(P1/P0)

ここで、

は測定したいパワー(または強度)、

は基準のパワーだ。

パワー比ではなく電圧や電流の比を使用する場合、式は以下のようになる。

dB=20log10(V1/V0)

これは、パワーが電圧や電流の二乗に比例するためだ。

デシベルが使われる分野

  • 音響学: 音の大きさを表すのにデシベルが使われる。例えば、ほとんどの人にとって聞こえる最小の音は0dBとされ、通常の会話は約60dB、コンサートの音楽は約120dBなどと表現される。
  • 電子工学: 電子回路における信号の増減を示すのにデシベルが使用される。信号増幅器の増幅率や、フィルターによる信号の減衰などを表すのに便利だ。
  • 通信工学: アンテナの利得や、ケーブルの損失など、通信システムの性能指標を示すのにもデシベルが用いられる。

デシベルの特性

  • 相対的な単位: デシベルは絶対値を表す単位ではなく、ある基準値に対する相対的な比を表す。そのため、具体的な量を知るためには基準値を明確にする必要がある。
  • 対数スケール: デシベルは対数スケールを用いるため、非常に小さな変化から非常に大きな変化までを扱うことができる。例えば、パワーが10倍になると10dBの増加、100倍になると20dBの増加となる。
  • 加算での利便性: デシベルで表された値は、パワーや強度の比を掛け算ではなく加算で合計することができる。これにより、複数の信号経路の合計損失や合計利得を簡単に計算することが可能となる。

DC/DCコンバータ

DC/DCコンバータは、一つの直流電圧を別の直流電圧に変換する電子デバイスだ。

電源電圧を機器が要求するレベルに変換するために使用され、電力効率を向上させると共に、電子機器の安定した動作を保証するために使用する。

携帯電話、ラップトップ、ポータブル機器、そして電気自動車など、幅広いアプリケーションで活用される。

DC/DCコンバータの基本機能

  • 昇圧(ブースト): 入力電圧よりも高い出力電圧を生成。
  • 降圧(バック): 入力電圧よりも低い出力電圧を生成。
  • 昇降圧(バックブースト): 入力電圧に関係なく、設定された出力電圧を生成。出力電圧は入力電圧よりも高くも低くもできる。

主要なDC/DCコンバータのタイプ

  • リニアレギュレータ: シンプルな構造で、トランジスタを可変抵抗として使用し、出力電圧を制御する。効率は低いが、出力電圧が非常に安定し、ノイズが少ないため、感度の高いアナログ回路に適している。
  • スイッチングレギュレータ: インダクタンス、ダイオード、スイッチング要素(トランジスタ)、そしてキャパシタを使用して電圧を変換する。高い効率を持ち、幅広い入力電圧に対応可能だが、リニアレギュレータに比べて回路が複雑になる。

DC/DCコンバータの利点

  • 高効率: スイッチングレギュレータは80%から90%以上の効率を達成することができ、エネルギー損失を最小限に抑える。
  • 柔軟性: 昇圧、降圧、昇降圧といった様々なタイプがあり、広範な入力電圧に対応できる。
  • 小型化: 効率の良いエネルギー変換により、小型でコンパクトな設計が可能。

DC/DCコンバータの応用例

  • 携帯電話: バッテリーからの電圧を携帯電話の各部品が必要とする電圧に変換。
  • 電気自動車: 高電圧のバッテリーから低電圧の車載機器へ電力を供給。
  • ポータブル機器: バッテリー駆動の機器において、効率的な電力供給を実現。
  • 産業機器: 異なる電力要件を持つ機器間で電力を効率的に配分。

DC/DCコンバータは、現代の電子機器にとって不可欠な部品であり、エネルギー効率の向上、機器の小型化、そして電子機器の性能向上に貢献してる。

特にスイッチングレギュレータは、その高効率と柔軟性から多くのアプリケーションで採用されている。

これらのコンバータは、エネルギーを効率的に使用し、デバイスのバッテリー寿命を延ばすことができるため、ポータブルデバイスや電気自動車などのバッテリー駆動機器にとって特に重要だ。

DC/DCコンバータの設計上の課題

DC/DCコンバータの設計には、いくつかの課題がある。

効率を最大化しつつ、サイズを最小限に抑え、コストを低減する必要がある。

また、スイッチング動作による電磁干渉(EMI)を抑制することも重要な設計課題だ。

これには、適切なフィルタリング、シールディング、レイアウトの最適化が必要になる。

効率の最適化

DC/DCコンバータの効率は、使用されるコンポーネント(特にスイッチングトランジスタとインダクタ)、スイッチング周波数、負荷の状態によって大きく変動する。

効率の最適化は、熱管理の観点からも非常に大切になる。

高効率のコンバータは、発熱が少なく、冷却要件を軽減できるため、よりコンパクトな設計が可能になる。

EMIノイズの管理

スイッチングレギュレータは、高速でオンオフすることにより電圧を変換することになるが、このスイッチング動作がEMIノイズを引き起こす可能性がある。

EMIは、デバイス内外の他の電子回路に干渉し、性能の低下を引き起こすことが起こりえる。

適切なEMI対策には、フィルタの設計、PCBレイアウトの最適化、適切なシールディングなどがある。

将来性

新しい半導体材料(例:ガリウムナイトライド(GaN)、シリコンカーバイド(SiC))の採用により、より高速で効率的なスイッチングが可能になり、これらの目標の達成に寄与できる。

また、電源管理のインテリジェンス化により、需要に応じて電力供給を最適化し、さらに効率を高めることが期待されている。

 

DFBレーザー(Distributed FeedBack Laser)

分布帰還型レーザー(DFBレーザー、Distributed Feedback Laser)は、半導体レーザーの一種で、レーザーの活性層に周期的な構造(ブラッグ格子)を持たせることで特定の波長での発振を強化し、非常に狭い線幅の光を発生させることができる。

この特性により、DFBレーザーは通信、センシング、測定などの分野で広く利用されている半導体デバイスだ。

InP基板を使ったInGaAsP活性層の光ケーブル通信用1.3μm~1.55μmレーザーで、0.2μm~0.25μm周期の格子を利用する。

高速直接変調での単一軸モード発振を得るために、導波路の中央部に1/4波長位相シフトを設けることがある。

DFBレーザーの基本構造

DFBレーザーの核心は、レーザーの活性層上またはその近くに形成されたブラッグ格子だ。

ブラッグ格子とは、屈折率が周期的に変化する構造で、特定の波長の光に対して反射する性質を持っている。

この構造により、レーザー内で増幅される光の波長を厳密に制御でき、非常に狭いスペクトル幅のレーザー光を発振させることが可能となる。

DFBレーザーの特徴

  • 単一波長の発振: ブラッグ格子によって特定の波長が選択され、非常に狭い線幅で安定した単一波長のレーザー光を発振させることができる。
  • 高周波変調が可能: 高速なデータ伝送が求められる光通信分野で優れた性能を発揮。
  • 温度や電流の変化に対する波長の安定性: 温度や駆動電流が変わっても発振波長がほとんど変化しないため、通信やセンシングにおいて信頼性が高い。

DFBレーザーの応用

  • 光ファイバー通信: 光通信システムにおいて、DFBレーザーはその狭い線幅と高い周波数安定性により、長距離伝送や高速伝送に適している。
  • センシング: ガス検知や環境モニタリングなど、特定の物質が吸収する特定波長の光を利用したセンシングに活用される。
  • 光周波数標準: 光時計や高精度の測定において、安定した周波数の基準として使用される。

DFBレーザーの課題

DFBレーザーは高性能だが、ブラッグ格子の製造に高度な技術が必要であり、コストが高くなることがある。

DC特性

半導体のDC特性(直流特性)とは、半導体デバイスが直流電源を用いた際に示す電気的挙動や性能のことを指す。

これには電流-電圧(I-V)関係、抵抗、閾値電圧、飽和電流など、デバイスが直流電源に接続されたときの基本的な電気的特性が含まれる。

DC特性は、トランジスタ、ダイオード、抵抗など、あらゆる種類の半導体デバイスに関連する重要な電気特性だ。

半導体デバイスの主要なDC特性

  • 電流-電圧(I-V)特性: 半導体デバイスにおける最も基本的な特性の一つで、特定の電圧を印加したときに流れる電流の量を示す。これは、デバイスの導電性、整流性、スイッチング特性などを評価するのに使用される。
  • 抵抗: 半導体デバイスに電圧を印加したときに示される抵抗値。この値は、デバイスがどの程度の電流を流すことができるかを示し、オン抵抗(導通時の抵抗)やオフ抵抗(非導通時の抵抗)として表される。
  • 閾値電圧 [しきいちでんあつ](Vth): ユニポーラトランジスタであるFET(フィールドエフェクトトランジスタ)やバイポーラトランジスタなど、トランジスタがオン状態になるために必要な最小のゲート電圧をしきい値電圧という。Vthと表現したり、Vgthと表現したりする(ゲート電圧のためgと書いたりする)。この値は、トランジスタのスイッチング特性を理解するために重要な指標となる。
  • 飽和電流 (Idsat): MOSFET(金属酸化物半導体フィールドエフェクトトランジスタ)などのトランジスタにおいて、ゲート電圧が一定以上になった際にドレインからソースへ流れる最大電流のこと。この値は、デバイスの最大電流容量を示す。
  • リーク電流: 電源がオフのとき、またはデバイスが非導通状態にあるときに流れる微小な電流をリーク電流という。リーク電流は、デバイスの電力消費と密接に関連しており、リーク電流が低ければ低いほど、低消費電力化につながる。
  • サブスレッショルドスイング: トランジスタがオフ状態からオン状態に移行する際のゲート電圧の変化率を示す。この値は、トランジスタのスイッチング効率を評価するために用いられる。

DC特性の測定と重要性

半導体デバイスのDC特性は、特性曲線トレーサーや半導体パラメータアナライザーなどの測定機器を用いて評価される。

これらの特性を理解することで、デバイスの性能、効率、適用範囲を把握することが可能となる。

また、設計段階でのデバイスの選定や回路設計、故障分析、品質保証など、製品開発の様々なフェーズで重要な役割を果たす。

DC特性の理解と測定は、デバイスが特定のアプリケーションに適しているかを判断するためにも不可欠だ。

例えば、低リーク電流が求められるバッテリー駆動のポータブルデバイスや、高い電流容量が必要な電源回路では、これらのDC特性を詳細に評価することで、適切な半導体デバイスを選択することができる。

DC特性の最適化

半導体デバイスの性能向上や応用範囲の拡大を目指す際には、DC特性の最適化が鍵となる。

これには、材料科学、微細加工技術、デバイス設計の進歩が寄与する。

例えば、新しい半導体材料の開発や、微細な構造の実現によって、より高い電流容量、より低いリーク電流、より良いスイッチング特性を持つデバイスの製造が可能になる。

また、デバイスのDC特性は、温度や電源電圧の変動によって影響を受けることがある。

そのため、実際の使用環境を考慮した上で、温度補償回路や電圧安定化回路などを導入することで、デバイスの性能を安定させる工夫が必要となる。

DIウォーター[Deionized Water、脱イオン水]

DIウォーター(Deionized Water、脱イオン水)とは、水中の溶解したイオン(金属イオンや鉱物イオンなど)を除去した非常に純度の高い水のこと。

DIウォーターは、特定の工業プロセスや科学研究、特に半導体や医薬品製造などの分野で広く使用されている。

イオン交換樹脂や逆浸透膜(RO膜)などの技術を用いてイオンを除去し、DIウォーターを作ることができる。

DIウォーターの製造方法

  • イオン交換法: イオン交換樹脂を使用し、水中の陽イオン(カルシウム、マグネシウムなど)と陰イオン(塩素、硫酸塩など)をそれぞれ除去する。イオン交換樹脂には、陽イオンと交換するための陰イオン交換樹脂と、陰イオンと交換するための陽イオン交換樹脂がある。
  • 逆浸透(RO)法: 高圧をかけて水を逆浸透膜を通過させ、イオンやその他の不純物を除去する。RO法は、イオンのみならず有機物や微生物も除去できるため、DIウォーターの製造において非常に効果的だ。

DIウォーターの特徴

  • 高純度: DIウォーターは、溶解したイオンやその他の不純物が非常に少ないため、非常に純度が高いといえる。
  • 非導電性: 溶解したイオンが除去されるため、電気をほとんど通さない。この特性は、半導体や電子機器の洗浄など、導電性が問題となる場面での使用に適している。
  • 反応性: 純度が高いため、特定の化学反応や生物学的プロセスにおいて、不純物による影響を受けにくい。

DIウォーターの用途

  • 半導体製造: 半導体ウェーハの洗浄に使用される。ウェーハ表面の微細な不純物を除去する必要があるため、非常に高い純度の水が要求される。
  • 医薬品製造: 医薬品の製造過程で使用される水として、DIウォーターが使用されることがある。純度が高いため、製品の品質を保証することができる。
  • 研究室: 実験用の溶媒として、または機器の洗浄に使用される。不純物の影響を最小限に抑える必要がある実験には、DIウォーターが適している。
  • 冷却システム: 特定の工業用冷却システムや電子機器の冷却に使用される。不純物による腐食やスケールの形成を防ぐため、DIウォーターが選ばれる。

DIP[ディップ、Dual In-line Package]

DIP(Dual In-line Package)は、半導体デバイスの一種であり、伝統的なスルーホール実装技術に適したパッケージ形式だ。

DIPというパッケージ形式では、半導体デバイスが長方形のプラスチックまたはセラミックのボディに封入され、二列に並んだピンが側面から外側に伸びているのが特徴だ。

ピンは、デバイスの両側に均等に配置され、プリント基板(PCB)上のスルーホールに挿入されてはんだ付けされる。

DIPの特徴

  • スルーホール実装: DIPパッケージはプリント基板のスルーホールに直接挿入され、はんだ付けによって固定される。これにより、強固な機械的接続を実現できる。
  • 容易な取り扱いと実装: DIPパッケージは手で扱いやすく、趣味の電子工作からプロトタイピングまで、幅広い用途での使用に適している。
  • 再利用可能: スルーホール実装のため、適切な機材を使えば基板から部品を取り外し、再利用することが可能。
  • 堅牢性: 物理的に頑丈な構造のため、振動や衝撃に対して比較的強い耐性を持つ。

DIPパッケージの用途

DIPパッケージは、集積回路(IC)、トランジスタ、ダイオード、LED、リレーなど、多くの電子部品で利用されている。

特に、初期のコンピュータ、家庭用ゲーム機、電卓などの電子機器で広く使用された。

趣味の電子工作や教育用途では、現在でもDIPパッケージの部品が好まれることが多い。

DIPと他のパッケージ形式との比較

近年、表面実装技術(SMT)が主流となり、より小型で高密度な実装が可能な

SOIC(Small Outline Integrated Circuit)、

QFP(Quad Flat Package)、

BGA(Ball Grid Array)

などのパッケージ形式が一般的に使用されるようになった。

これらの表面実装パッケージは、DIPに比べて基板上での占有面積が小さく、より高い信号伝送速度を実現できるため、現代の高性能電子機器に適している。

しかし、プロトタイピングや趣味の電子工作においては、DIPのようなスルーホールパッケージの方が取り扱いやすく、再利用が容易なため、依然として重宝されているのも事実だ。

DOF[ディーオーエフ、Depth of Focus、焦点深度]

半導体のリソグラフィ(フォトリソグラフィ)工程におけるDOF(Depth of Focus、焦点深度)は、露光時にウェハー表面の微細なパターンを正確に転写するために重要なパラメータだ。

リソグラフィは、半導体デバイスの製造工程において、光を使用してフォトレジスト(感光性材料)に微細な回路パターンを形成するプロセスのこと。

DOFは、露光光学系の焦点が合っている範囲の深さを指し、この範囲内であれば、ウェハー表面上に鮮明な像を形成できる。

DOFの重要性

ウェハー表面は完全に平坦ではなく、また製造プロセスの中で微小な高さの変動が発生することがある。

DOFが十分に大きい場合、これらの微小な高さの変動によっても、パターンの露光が適切に行われ、高解像度のパターン転写が可能となる。

一方で、DOFが狭い場合、微小な高さの変動で像がぼやけてしまい、微細なパターンの正確な転写が困難になる可能性がある。

DOFを決定する要因

DOFは、露光装置の光学系の特性や使用する光の波長、露光プロセスで使用されるフォトマスクのパターンピッチ(パターンの細かさ)によって影響を受ける。

具体的には、以下の要素がDOFに影響を与える。

  • 光の波長: 波長が短いほど、より高い解像度を得ることができるが、DOFは狭くなる。
  • 数値口径(NA): 光学系の数値口径が大きいほど解像度は向上するが、DOFは狭くなる。
  • フォトレジストの厚さ: フォトレジスト層の厚さもDOFに影響を与え、厚いほどDOFは狭くなる傾向がある。

DOFの管理

高解像度のリソグラフィプロセスでは、DOFを適切に管理し、全ウェハー表面にわたって一貫した露光精度を確保することが重要だ。

これを達成するために、以下のような技術や戦略が用いられる。

  • 焦点位置の最適化: 露光装置における焦点位置を最適化することで、ウェハー全体にわたって均一な露光を実現する。
  • プロセス条件の調整: フォトレジストの厚さや露光エネルギーの調整を通じて、DOFを最適化。
  • 高度な露光技術の採用: 段階的露光や焦点の動的調整など、高度な技術を用いることで、DOFの制約を克服し、微細なパターンの正確な転写を実現。

リソグラフィプロセスにおけるDOFの管理は、半導体デバイスの製造における微細化の進展と共に、さらに重要性を増している。

デバイスの機能性向上と小型化を実現するためには、より高精度なパターン転写が求められ、そのためには露光プロセスにおけるDOFの適切な管理が不可欠だ。

DOFの最適化技術

  • 位相シフトマスク(PSM): 位相シフトマスクを使用することで、光の干渉を利用し解像度を向上させることができる。これにより、DOFを維持しつつ、より細かいパターンを鮮明に転写可能となる。
  • 光学的近接補正(OPC): マスク上のパターンを微調整し、露光時の光の回折や干渉による像の歪みを補正する。これにより、DOFの限界内で高いパターン忠実度を実現する。
  • 液浸リソグラフィ: 液浸式露光技術では、レンズとウェハーの間に水などの液体を挿入することで、光の有効波長を短くし、解像度を向上させる。これにより、より狭いDOFの条件下でも、高精度のパターン形成が可能となる。

DOFと露光装置の進化

露光装置の技術進化も、DOFの管理と最適化に大きく寄与している。

EUV(極端紫外線)リソグラフィなどの新しい露光技術は、より短い波長の光を使用することで、解像度の向上とDOFの拡大を同時に実現している。

EUVリソグラフィは、微細化が進む半導体デバイスの製造において、今後ますます重要な技術となることが予想される。