DRY(ドライ)エッチングのEPD技術：高精度化を支えるキーテクノロジー
2024-10-05 semi-connect編集室 半導体製造において、DRYエッチングは微細な回路パターンを形成するための重要なプロセスです。そして、その精度を左右する重要な要素の一つがEP …Etching in Semiconductor Manufacturing: A Deep Dive
2024-09-24 semi-connect編集室 In semiconductor chip manufacturing, etching is a crucial process that …半導体製造におけるエッチング技術!ウェットエッチングとドライエッチングとは
2024-09-24 semi-connect編集室 半導体チップの製造において、エッチングはウェーハ上に回路パターンを形成する極めて重要なプロセスです。 ウェハ表面に形成されたレジストパターン …
熱酸化SiO2で消費されるSiの量の計算
2023-09-23 semi-connect編集室 熱酸化SiO2は半導体に欠かせない重要な膜 SiO2(シリコン酸化膜)の中には、熱酸化SiO2やTEOSなどいろいろな種類があります。 その中で熱酸化SiO2はもっとも品質 …
温度帯ごとのCVDプロセスを整理する
2023-09-23 semi-connect編集室 CVD（Chemical Vapor Deposition、化学気相成長）は、材料をガス状の前駆体から固体薄膜またはコーティングとして成長させるプロセスです。 CVDの際の温 …
いろいろなエキシマレーザーと名前の由来
2023-09-18 semi-connect編集室 エキシマレーザーは、異なる希ガスの組み合わせを媒体として使用することによって、異なる波長や特性の紫外線レーザーを生成できるため、さまざまなタイプが存在します。 以下に、一般的 …酸化還元反応とは？半導体製造プロセスとの関係を基礎からわかりやすく解説
2023-09-17 semi-connect編集室 酸化還元反応は、化学の基本概念の一つであると同時に、半導体製造プロセスのいたるところで登場する重要な反応です。本記事では、酸化還元反応の基礎 …半導体ウエハの加工フローを解説
2023-07-02 semi-connect編集室 半導体ウエハは、半導体チップのもとになる重要な材料です。 ウエハは、薄い円盤形状になって、ウエハメーカー(信越化学工業株式会社やSUMCOなど)から半導体デバイスメーカーへ納 …
