半導体製造におけるエッチング技術!ウェットエッチングとドライエッチングとは
2024-09-24 non-fungy 半導体チップの製造において、エッチングはウェーハ上に回路パターンを形成する極めて重要なプロセスです。 ウェハ表面に形成されたレジストパターン …
温度帯ごとのCVDプロセスを整理する
2023-09-23 non-fungy CVD（Chemical Vapor Deposition、化学気相成長）は、材料をガス状の前駆体から固体薄膜またはコーティングとして成長させるプロセスです。 CVDの際の温 …
いろいろなエキシマレーザーと名前の由来
2023-09-18 non-fungy エキシマレーザーは、異なる希ガスの組み合わせを媒体として使用することによって、異なる波長や特性の紫外線レーザーを生成できるため、さまざまなタイプが存在します。 以下に、一般的 …イオン注入機メーカーやイオン注入(ドーピング)の原理
2023-06-14 non-fungy イオン注入（イオンインプラント, ion-implant）は、半導体製造工程の一つであり、特に製品の品質と性能を向上させるために用いられます …
バックグラインド(裏面研削)工程とは【シリコンウエハーを機械的に削る】
2022-07-30 non-fungy バックグラインド工程とは 半導体デバイス製造の生産性上げるためにシリコンウエハーは直径150mm→200mm→300mmと大きくな …
【目的別に整理】半導体プロセスのいろいろな熱処理の種類
2022-07-30 non-fungy 半導体デバイスの製造での熱処理は、シリコンウエーハを窒素(N2)やアルゴン(Ar)などの不活性ガス雰囲気中で熱を与えることを意味します。 …
半導体に急速に熱を加えるRTA(アール・ティー・エー)とは
2022-07-02 non-fungy 半導体プロセスには、半導体ウエハに熱を加えることが欠かせません。 なぜなら、半導体ウエハに狙い通りのPN接合(不純物の拡散層)を作るた …
単結晶半導体基板の上にさらに単結晶半導体を成長させる「エピタキシャル成長」
2022-01-13 non-fungy 今回取り上げるのは、半導体のエピタキシャル成長です。 画面の前の聡明なみなさんはきっとこう思っていると思います。 「そもそも半導 …
