半導体プロセスEUVフォトマスク(レチクル)完全解説──1枚数千万円・反射型構造・位相欠陥とActinic検査が必要な理由 2026-07-16 semi-connect編集室 半導体の製造ラインで1枚数千万円〜1億円超の値段がつくものがあります。EUVフォトマスク(レチクル)です。 EUVリソグラフィでは、こ …