EUVとDUVを徹底比較──なぜ3nm以降はEUVしか選択肢がないのか、コスト・解像度・スループットで整理
2026-07-17 semi-connect編集室 「EUVとDUVの違いは波長」という説明を聞いたことがある方は多いでしょう。しかし「だからなぜ3nm以下はEUVしか使えないのか」「DUVで …
フォトリソグラフィの進化の歴史──g線・i線・KrF・ArF液浸・多重露光・EUV・High-NA EUVまで40年の技術革命
2026-07-16 semi-connect編集室 1980年代に半導体製造ラインで使われていた光の波長は436nm（g線）でした。2026年現在、最先端ファブでは13.5nm（EUV）が使わ …
