「AI半導体の後工程に革命を起こす」と言われながら、その実態を知る人が少ない企業がある。オランダの小さな半導体装置メーカー、Besi(BE Semiconductor Industries N.V.)だ。

従業員約3,500名。ASMLの10分の1にも満たない規模のこの会社が、AIデータセンターの心臓部を作る最先端技術の製造装置で、世界市場シェア90%超を持つ。その技術が「ハイブリッドボンディング」──はんだもバンプも使わず、チップとチップを銅で直接接合する技術だ。

AMD MI300X・Apple M5 Pro・Sony CMOSイメージセンサー。これらすべての製品のパッケージング工程にBesiの装置が使われている。そしてNVIDIA次世代GPU「Rubin Ultra」(2027年予定)がこの技術に移行するとき、Besiへの需要は一段と跳ね上がる。

なぜBesiだけがこの市場を独占できたのか。企業の構造から財務、顧客関係、買収噂まで、2026年7月時点の最新情報で解説する。

企業概要──設立から30年で「唯一の量産対応サプライヤー」へ

項目内容
正式社名BE Semiconductor Industries N.V.
設立1995年
本社オランダ・デュービン(Duiven)
CEORichard Blickman(共同創業者)
従業員数約3,500名
上場市場Euronext Amsterdam(ティッカー:BESI)
主な事業半導体後工程製造装置(Back-end Equipment)
主力製品ハイブリッドボンダー・ダイアタッチ装置・フリップチップ装置

Besiは1995年にオランダで設立された。創業者のRichard Blickmanは現在もCEOを務め、30年間にわたって自ら陣頭指揮を執っている。事業の中心は一貫して「半導体チップをパッケージに実装・接合する後工程(バックエンド)装置」だ。

長年はダイアタッチ(チップを基板に貼り付ける装置)やフリップチップ(はんだバンプで接続する装置)を手掛けるメーカーとして地道に成長してきた。転機は2016年のソニーとの取り組みとその後のハイブリッドボンディング開発への傾倒だ。Sonyが世界初のW2Wハイブリッドボンディング量産をCMOSイメージセンサーで開始したとき、その装置に関わったことがBesiのハイブリッドボンディング量産ノウハウの原点となっている。

製品ライン──ダイアタッチからハイブリッドボンダーまで

Besiの製品は後工程の主要工程に幅広く対応している。

ダイアタッチ(Die Attach)

チップ(ダイ)を基板・リードフレーム・キャリアに固定するプロセス。エポキシ樹脂や銀焼結材で貼り付ける。Besiはこの市場でも世界有数のシェアを持つ。

フリップチップ接合

はんだバンプやCuピラーを使った従来の実装技術。BGA(ボールグリッドアレイ)パッケージなどに使用。依然として大量生産チップの主流だが、Besiは高精度フリップチップ装置でも競争力を持つ。

Datacon 8800 CHAMEO ultra plus AC──ハイブリッドボンダーの旗艦機

Besiの競争優位性の中核がこの装置だ。D2W(ダイ-to-ウェーハ)ハイブリッドボンディングに対応した、現在唯一の高量産製造(HVM)対応装置として知られる。

仕様項目数値
アライメント精度100nm(3σ)
スループット(ドライサイクル)最大2,000ダイ/時間
クリーンルームクラス(作業エリア内)ISO 3(クラス1)
対応ウェーハ径12インチ(300mm)
対応ダイサイズ0.5×0.5mm〜33×28mm

100nm(3σ)という精度を量産スループットで実現するために、装置内部にはISO 3クリーンルームと同等のパーティクルフリー環境が組み込まれている。ハイブリッドボンディング最大の難関「1μmの異物が10mm大の接合ボイドを生む」という問題を装置レベルで封じ込める設計だ。

Kinex──Applied Materialsとの共同開発統合システム

2025年4月にApplied MaterialsがBesi株式の9.2%を取得(約3,000億円規模の戦略投資)したことで、両社の協業が本格化した。その成果が「Kinex」だ。

仕様項目数値
スループット1,600ダイ/時間
アライメント精度100nm(3σ)
特徴表面活性化(プラズマ洗浄)とボンディングの一体統合システム
主要顧客SK Hynix(2026年2月発注確認)

KinexはAMATのCVD/PVD技術(表面活性化プロセス)とBesiのボンディング技術を一台のシステムに統合したもの。ウェーハを移動させる際の汚染リスクをさらに低減できるため、次世代のハイブリッドボンディング量産に向けた主力システムとして位置付けられている。

なぜBesiだけが市場を独占できたのか

D2Wハイブリッドボンダー市場でBesiのシェアが90%超という独占に近い状態になった理由は、競合他社が「後発で追いつけない参入障壁」を積み上げてきたからだ。

①量産実績の壁

半導体製造装置は「量産実績」が最大の参入障壁になる。TSMCやSamsungは何億ドルもの設備投資をする際、実績のない装置を採用するリスクを取れない。AMD MI300X(2023年量産開始)でBesiがHVMラインに採用されたことで、「量産実績あり」の認定が業界全体に広まった。後発メーカーはこの壁を最初から超えなければならない。

②特許と累積ノウハウ

Sonyの2016年量産から始まり、10年近くにわたってハイブリッドボンディング量産での知見を積み上げてきた。表面活性化の条件、Cu凹み量の管理方法、ISO 3クリーンルーム内でのダイ搬送制御──これらはすべて特許と暗黙知の組み合わせで構成されており、外から見て模倣できるものではない。

③精度とスループットの両立

100nm(3σ)の精度は多くの研究装置が達成できる。しかし「2,000ダイ/時間で100nm(3σ)を量産環境で維持する」は全く別次元の要求だ。精度を上げればスループットが落ちる。スループットを上げれば振動・熱・パーティクルが問題になる。Besiはこのトレードオフを量産コストの範囲内で解決した唯一のメーカーだ。

④主要顧客との共同開発関係

TSMCとの開発連携は特に深い。TSMC SoICはBesiの装置を前提として開発・量産されている側面がある。顧客の製造プロセスと装置仕様が一体的に最適化されていると、別の装置メーカーに切り替えることは技術的に困難になる。

主要顧客と採用事例──2026年7月時点

顧客用途採用製品・技術状況
TSMCSoIC(D2W)製造ラインDatacon 8800 / Kinex量産中
AMDMI300X・3D V-CacheTSMC SoIC経由量産中
AppleM5 Pro(SoIC-X F2F)TSMC SoIC経由量産中
SK Hynix次世代HBM向けKinex(2026年2月発注)ラインアップ準備中
Rapidus2nmロジック向けDatacon系初受注(Q4 2024)
SamsungX-Cube(3D積層)Datacon系開発中
SonyCMOSイメージセンサー(W2W)W2Wボンダー量産中(2016年〜)

Rapidusが「日本の2nmロジックメーカーから初受注」としてQ4 2024にBesiからの受注を確認したことは象徴的だ。日本の次世代半導体の製造ラインにBesiの装置が入ることを意味する。

財務成長──ハイブリッドボンディング売上が3年で13倍の軌道

Besi全体の売上はFY2024約€607.5M・FY2025約€591.5Mと半導体装置市場のダウンサイクルの影響を受けたが、長期目標を€1.5〜1.9Bに設定している。注目すべきはハイブリッドボンディング部門の急成長だ。粗利率は63〜65%と業界最高水準を維持している。

ハイブリッドボンディング売上備考
2023年€36MAMD MI300X量産開始期
2024年〜€108MTSMC SoICライン拡張
2025年〜€250M(推定)Kinex量産体制確立
2026年€476M(予測)SK Hynix Kinex + NVIDIA移行準備

€36Mから€476Mへ──わずか3年で13倍以上の成長軌道だ。これはNVIDIA Rubin Ultra(2027年)のTSMC SoIC移行前の「準備期間」の数字であり、2027〜2028年にかけてさらに加速する可能性が高い。

買収噂と業界再編リスク

Besiの独占的地位と高成長が、大手半導体装置メーカーの食指を動かしている。

2026年3月、TrendForceが「Lam Researchによる買収交渉が進んでいる」という報道を出した。同時にApplied Materials自身がさらに持分を積み増す可能性も指摘されている。すでにApplied MaterialsはBesiの最大株主(9.2%)として共同開発に深く関与している。

Besi側は独立性を維持する姿勢を示している。Richard Blickman CEOは過去のインタビューでも「独立企業として成長する」方針を繰り返し述べている。大手による買収は独占禁止法審査の観点からも容易ではなく、短期的な実現可能性は低いとみる専門家も多い。

ただし、Applied Materialsとの提携深化(Kinexの共同開発・9.2%出資)は、実質的な「ソフト統合」が進んでいると見ることもできる。業界再編はBesiのバリュエーションに直接影響するリスク要因として押さえておく必要がある。

競合比較──なぜ他社は追いつけないのか

メーカー主力製品ハイブリッドボンディングHVM対応状況
Besi(BESI)Datacon 8800 / Kinexあり(業界唯一)量産中
ASM Pacific Technology(ASMPT)TCBボンダー開発中HVM未達
Kulicke & Soffa(K&S)ワイヤーボンディング開発中HVM未達
SET(Smart Equipment Technology)研究・開発用ボンダー研究段階のみ量産対応なし

ASMPTは「LITHOBOLT」ハイブリッドボンディングプラットフォームを早期商業化段階で展開しており、IBMおよびEV Groupとの連携で開発を進めている。ただしBesiとは10年近い実績の差があり、量産顧客の切り替えは容易でない。ASMPTが優位に立つのはTCBチップ-基板接合の分野であり、BesiのハイブリッドボンディングとASMPTのTCBは異なる市場を分担している構図だ。

2026年時点で新たな脅威として浮上しているのが韓国・中国勢だ。韓国のHanwha SemitechはSHB2 Nanoを2026年4月にSK Hynixで評価中。中国のTuojing TechnologyはW2Wハイブリッドボンディング装置で2025年に初の商業売上を計上し、NauraはD2W装置(HPD30)の工程検証を2026年3月に完了している。これらは2〜4年の量産認定サイクルを経てBesiの独占に挑んでくる新たなプレーヤーだ。

まとめ──AIチップの「最後の工程」を握る企業

ハイブリッドボンディングは「バンプをなくしてチップを直接つなぐ」というシンプルなアイデアを、「0.5nm RMS以下の表面粗さ・ISO 3クリーンルーム・100nm精度・2,000ダイ/時間」という桁違いの要求で実現する技術だ。この難度の高さがBesiの独占を生み、独占がさらに技術差を広げる正のスパイラルになっている。

  • D2Wハイブリッドボンダー市場シェア:90%超(唯一のHVM対応サプライヤー)
  • ハイブリッドボンディング売上:3年で13倍超の成長軌道
  • 顧客:TSMC・AMD・Apple・SK Hynix・Rapidus・Sony
  • 戦略的投資家:Applied Materials(9.2%・最大株主)
  • 次の波:NVIDIA Rubin Ultra(2027年)のTSMC SoIC移行でさらなる需要急増

ASMLがEUV露光機でリソグラフィ工程を独占するように、Besiはチップ積層の後工程でハイブリッドボンダーを独占しつつある。AI半導体の進化を語るとき、BesiはASMLと並んで避けて通れない名前になっていく。

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参考資料

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