半導体装置に欠かせない様々な真空ポンプ
2023-01-29 semi-connect編集室 スパッタイオンポンプ(sputter ion pump) スパッタイオンポンプは、オイル(油)を使わないドライ真空系ポンプだ。 スパッタイオンポンプの原理はペニング放電と同 …
日本のシリコンウエハーは世界的シェアをもっているのに、原料のシリコンを輸入に頼る理由とは
2022-08-02 semi-connect編集室 半導体材料の代表格はシリコン(Si)です。 シリコンはケイ素(珪素とも表記)とも呼ばれます。 地表近くの地殻中に存在する元素の存 …
バックグラインド(裏面研削)工程とは【シリコンウエハーを機械的に削る】
2022-07-30 semi-connect編集室 バックグラインド工程とは 半導体デバイス製造の生産性上げるためにシリコンウエハーは直径150mm→200mm→300mmと大きくな …
