High-NA EUV完全解説2026──開口数0.55・Anamorphic光学系・IntelとTSMCで採用戦略が分かれる理由
2026-07-18 semi-connect編集室 2026年7月、Intelが世界で初めてHigh-NA EUV（開口数NA=0.55）を使った量産ロジックチップを出荷しました。従来EUV（ …
EUVとDUVを徹底比較──なぜ3nm以降はEUVしか選択肢がないのか、コスト・解像度・スループットで整理
2026-07-17 semi-connect編集室 「EUVとDUVの違いは波長」という説明を聞いたことがある方は多いでしょう。しかし「だからなぜ3nm以下はEUVしか使えないのか」「DUVで …
